最大视野：50 mm

最大样品尺寸：直径250毫米，高度50毫米

加速电压：0.02 kV-30 kV

放大倍数：12倍-200万倍

二次电子分辨率：≤0.7 nm@15 kV，≤ 1.2 nm@30 kV

样品移动范围：X轴：130mm； Y轴：130毫米； Z轴：50毫米

最大样品倾斜角：70° 最大电子束位移：200 μm

InLense SE：高分辨率二次电子探测器，可用于高分辨率形态观察；

ET-SE：样品室二次电子检测器，可用于观察样品表面微观区域的结构；

aBSD：样品室中可绘制的六段式背散射电子检测器，可用于样品成分对比观察；

牛津能谱仪系统（EDX）：可以通过能谱分析得到样品的元素组成和含量；

 阴极发光光谱仪（CL）：激发波长为270-900 nm，对材料的发光特性进行定性和定量研究