沉积材料：金属（Au、Ag、Al、Ti、Pt、Mo、Fe、Cr、Ni）、复合材料（ITO）、电介质（SiO2、Si3N4、Al2O3等）

主泵：1200L/s或1600L/s分子泵、进口磁悬浮分子泵或低温泵

真空极限：5×10-5Pa(3.75×10-7Torr) ~3×10-6Pa(2×10-8Torr)；

E型电子枪：阳极电压6KV-10KV，带XY偏转扫描； 4-8腔坩埚可选，12cc、22cc、40cc等。

最大180mm基板/15～25mm ITO/FTO玻璃30片/拱形或半球形样品架，可定制集成高精度蚀刻掩模； 基板台转速、转速0-25rpm连续可调；

平面基板：基板可加热或水冷；