硅片——FZ硅片(国产)
产品介绍:
硅片——FZ硅片(国产)
1、 掺杂类型:N,P
2、 直径2~8英寸
3、 阻值:几十Ωcm-20kΩcm及以上
4、 FZ硅片是指通过区熔法制作的硅片,将硅棒从籽晶一端区域熔化,将熔化区逐渐移动至硅棒另一端,利用杂质的分凝原理和蒸发特性,可以对硅棒进行提纯,并得到很均匀的杂质分布,这种技术通常用于制造高纯度的本征硅片。
5、 是否做高温工艺,以及退火后的工艺性能是考察FZ硅片的一个重要指标。
6、 根据工艺应用适用不同型号FZ硅片,咨询时需要告知工艺应用以及是否做高温工艺。
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