微流控器件

工艺介绍：

微流控技术（Microfluidics）是处理和操纵微小流体的科学与技术，常被称为微流控芯片、芯片实验室或微全分析系统。原位芯片提供包括设计、制造和测试在内的全套微流控芯片解决方案。

器件应用：

微流控芯片因其微型化和集成化，在有机合成、化学分析、临床诊断和药物筛选等领域广泛应用，提供高效、精确的分析和检测手段。

工艺能力：

1、PDMS器件：

精度依赖模具，提供高精度模具如刻蚀硅、SU-8、刻蚀玻璃。

2、SU-8器件：

胶厚2-400um，线宽比1:1，精度误差<10%。

3、硅流道器件：

最小线宽百纳米级，流道陡直度高，线宽精度高，可控精度<5%，深宽比5:1。 

4、玻璃流道器件：

1um内深度用IBE刻蚀，精度10%以内，深宽比1:1。 

1-20um深度用NLD刻蚀，高刻蚀速率和均匀性。

 20um以上深度用湿法腐蚀，深宽比2:1以上，线宽200um以上可激光打孔。