工艺介绍:
叉指电极是一种指状或梳状的周期性图案电极,用于产生与材料样品和敏感涂层相关的电场。这种电极通过电化学工艺制造,形成超精细电路,广泛应用于非破坏性测试、电子通讯和化学测试等领域。
工艺应用材料:
陶瓷电极、柔性电极、硅基电极、多孔金修饰电极。
工艺能力:
多种衬底: 玻璃、石英、硅、蓝宝石、PET和PI:
不同尺寸: 2、4、6寸:
不同线宽间距: 最小线宽700nm
对数及叉指材料: Ti、Al、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu等
叉指电极传感器主要包括四个结构参数,分别为: 又指电极对的对数、又指宽度、相邻叉指之间的间距离以及又指电极的厚度。这四个参数对基于叉指电极的生化传感器关键性能指标都有很大影响。
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