微热板器件介绍：
微热板器件是利用MEMS技术制造的精密加热设备，主要用于精确控制和测量微小区域的温度。
功能：
温度测量：用于精确测量温度变化。
气体检测：通过温度变化检测特定气体浓度。
红外成像：结合红外技术进行热分布成像。
工艺能力：
材料：硅、氮化硅等。
微加工：光刻、蚀刻等。
电镀：铜、金等。
封装：保护壳封装。
联系人：Mike
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电话：+86-19820819249
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