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离子显微镜拥有氦、氖和镓三种离子源。可用于物质表面的成像观察、刻蚀 加工微米或纳米级尺寸的图案、半导体电路修补、三维重构分析等。聚焦氦 离子束的成像分辨率可达到 0.5 纳米，加工特征尺寸优于 10 纳米。配有铂、 钨、PMCPS 气体，用于表面保护沉积、导体或者绝缘体沉积作用。
二维码
