高分辨透射电子显微镜利用加速后的高能电子穿透薄样品,通过电磁透镜成像实 现对材料的显微成像。本透射电镜能够实现 80-300 千伏不同加速电压的选择,点分辨率能够达到 0.205 纳米。配有 X 射线能谱仪(分辨率可优于 136 eV) ;能够对样品的化学成分进行快速分析,并配有电子能量损失谱仪(分辨率优于 0.7 eV);可对材料的电子结构等信息进行精细分析。
场发射扫描电子显微镜
聚焦离子 / 电子双束系
离子显微镜
Talos 透射电子显微
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