聚焦离子 / 电子双束系统

聚焦离子束应用于微纳加工、微纳结构观察及分析、高质量各种定点透射电镜样品制备、三维原子探针制备、自动序列 EBSD 样品加工、电路修补以及三维重构分析。能够实现的功能包括离子束刻蚀、离子束沉积、电子束沉积；可进行纳米结构的电子束曝光加工，高分辨扫描电镜功能可以对离子束加工试样进行实时观察。电子束在 15 千伏可达到 0.9 纳米分辨率，稼离子束在 30 千伏可到达 2.5 纳米分辨率。

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