场发射扫描电子显微镜

场发射扫描电子显微镜利用聚焦后的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息，通过对这些信息的接受、放大和显示成像，实现对样品的表征。该扫描电镜在 15 千伏能够达到 0.8 纳米的分辨率；并配有二次电子探测器分析试样表面形貌，背散射探测器通过收集背散射电子分析样品成分，能谱仪收集产生的 X 射线分析样品成分，波谱仪测量波长分析样品成分，背散射仪（EBSD）分析样品的晶体取向。

上一个：近常压 X 射线光电子能谱 (NAP-XPS) 下一个：聚焦离子 / 电子双束系统