原子力显微镜利用微悬臂感受并放大悬臂上尖细探针与检测样品原子之间的作用 力,从而达到检测固体材料的表面形貌结构,具有原子级的分辨率。相对于扫描 电镜,原子力显微镜的优势是能探测几乎各种固体材料的表面形貌,包括聚合物、 陶瓷、玻璃、生物样品等。除了形貌分析以外,在不同的操作模式下还能研究材 料表面的电学性能、磁学性能以及力学性能等功能。
场发射扫描电子显微镜
聚焦离子 / 电子双束系
离子显微镜
高分辨透射电子显微镜
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